電子級無水氟化氫

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電子級無水氟化氫

質量標準：

分子式：HF 　　　　分子量：20.01
序號	項目	單位	規格值
1	氫氟酸 (HF)	wt%	≥99.999
2	氯化物（Cl）	ppb	≤100
3	硝酸鹽 (NO₃)	ppb	≤100
4	磷酸鹽（PO₄）	ppb	≤100
5	硫酸鹽（SO₄）	ppb	≤100
6	硅（Si）	ppb	≤100
7	鐵（Fe）	ppb	≤50
8	鎳（Ni）	ppb	≤50
9	鉻（Cr）	ppb	≤50
10	銅（Cu）	ppb	≤50
11	鈉（Na）	ppb	≤50
12	鈣（Ca）	ppb	≤50

性狀：
無色透明液體，在空氣中冒白煙，有強烈刺激性氣味，劇毒，并有強烈的腐蝕性，沸點19.5℃。
用途：
半導體蝕刻。
貯存：
貯存在帶棚的庫房中。嚴禁暴曬，嚴禁與易爆物品混放。
運輸：
按一級無機酸性腐蝕物品對待。
包裝：
用中壓高純鋼瓶包裝，每瓶4L、10L、40L或依客戶要求。

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